АСМ сканирование тестовой решетки (шаг 3 мкм, высота 25 нм), полуконтактный метод, резонансная частота кантилевера – 500 кГц, площадь сканирования 30х30 мкм, 400×400 точек. Скорость сканирование увеличивалась с 2 до 20 линий в секунду!

Быстрое сканирование