АСМ сканирование тестовой решетки (шаг 3 мкм, высота 25 нм), полуконтактный метод, резонансная частота кантилевера – 500 кГц, площадь сканирования 12х12 мкм, 300×300 точек. Скорость сканирование увеличивалась с 3 до 30 линий в секунду!
Одновременное измерение АСМ топографии, TERS (Tip Enhanced Raman Scattering) и сдвига частот комбинационного рассеяния на образце Si/SiO2 в режиме на отражение.
*Данные получены на демо системе в компании Tokyo Instruments (Токио).
*Исследования проведены в рамках специальной программы “Research Program on Development of Innovative Technology”, организованной Japan Science and Technology Agency (JST).
Режим: на просвет
Условия измерения:
Лазер: 632.8 nm, мощность на образце менее 1 мВт;
AFM: бесконтактный режим, амплитуда колебаний кантилевера 7 нм;
Время экспозиции – 0.1 с/точку;
Зонд: СЗМ зонд с напылением золота.
*Результаты получены на демо системе в офисе компании Tokyo Instruments Inc.