- Измерительную головку с автоматизированной настройкой регистрирующей системы;
- Быстрый сканер на гибких направляющих и монолитных пьезопакетах;
- Систему моторизованного позиционирования образца;
- Систему автоматизированного безопасного подвода зонда к образцу;
- Оптический стол и систему виброизоляции;
- Модульный, расширяемый, слотовый, цифровой USB контроллер;
- Современный персональный компьютер с установленным программным обеспечением;
- Систему ввода-вывода излучения, сопряженную с оптической системой наблюдения за зондом и образцом;
- Спектральный модуль;
- Контактная, полуконтактная и бесконтактная атомно-силовая микроскопия (АСМ);
- АСМ латеральных сил;
- АСМ токов растекания (три программно переключаемых диапазона от 10 пА до 100 мкА) – опционально;
- АСМ зонда Кельвина (с разрешением не хуже 3 мВ);
- Магнитно-силовая микроскопия (с латеральным разрешением не хуже 70 нм);
- Электро-силовая микроскопия (с разрешением не хуже 5 мВ);
- Сканирующая емкостная микроскопия;
- Измерение силовых кривых;
- Измерение вольт-амперных характеристик – опционально;
- Нанолитография;
- Наноманипуляции.
- образцом;
- возможность измерения образца до 40 х 40 мм в поперечнике и до 15 мм в высоту;
- оптический доступ: возможность одновременной установки объективов планапохроматов сверху (с числовой апертурой 0.7) и сбоку (с числовой апертурой 0.28);
- максимальная апертура бокового объектива 0.42;
- свободный доступ к зонду СЗМ для возможности подвода дополнительных внешних зондов;
- длина волны лазера: 1300 нм;
- шум регистрирующей системы: 0.05 нм;
- полностью моторизованное автоматизированное позиционирование зонда и фотодиода;
- разрешение настройки зонда: 1 мкм;
- автоматизированная настройка лазера и фотодиода программным методом;
- смена зонда не приводит к его смещению после настройки регистрирующей системы более чем на ±10мкм вне зависимости от длины кантилевера;
- лазерный луч системы регистрации не проходит через верхний объектив, что обеспечивает развязку оптического канала и канала регистрации и возможность работы измерительной головки в отсутствие верхнего объектива.
- XYZ сканер на гибких направляющих с ёмкостными датчиками положения;
- Диапазон сканирования по осям XY: 100 мкм, по оси Z: 15 мкм;
- Нелинейность по осям XY: не более 0.03%, по оси Z: не более 0.04%;
- Максимальная масса образца: 100 г.;
- Ненагруженная резонансная частота по осям XY: 7 кГц при диапазоне сканирования 100 мкм;
- Ненагруженная резонансная частота по оси Z: 15 кГц при диапазоне сканирования 15 мкм;
- Активное устранение задержки по фазе по осям XY при различных скоростях сканирования;
- Отсутствие переколебаний по быстрому направлению сканирования;
- Цифровая фильтрация резонансных частот сканера при управляющих напряжениях (для уменьшения времени стабилизации по оси Z).
- Моторизованное позиционирование образца по осям XY;
- Диапазон позиционирования образца: 5 мм по каждой из осей XY;
- Точность позиционирования: 1 мкм;
- Имеется система автоматизированного безопасного подвода зонда к образцу, которая позволяет предотвратить повреждение зонда при подводе.
- Оптический стол с размерами 1000×1800x300mm;
- Пневматическая система виброизоляции.
- Цифровой, модульный, расширяемый контроллер;
- Высокоскоростной ЦСП 190 МГц;
- Связь с ПК по интерфейсу USB 2.0;
- Цифровая обратная связь по всем трем осям X,Y,Z;
- Возможность расширения каналов обратной связи до девяти;
- Высокоскоростной 500 кГц 18-бит АЦП, 20 каналов;
- Частотный диапазон регистрирующей системы 5 МГц;
- 2 синхронных усилителя с частотным диапазоном 5МГц;
- 6 цифровых 32–битных генератора с частотным диапазоном 5 МГц и 0.01 Гц разрешением;
- Возможность подачи модуляции на зонд и X, Y, Z сканеры;
- Выход напряжения смещения;
- Высоковольтные усилители -10 ÷ 110 В, шум 0.4 ppm;
- Напряжение смещения (AC, DC) – 50 ÷ 50 В, частотный диапазон 0 ÷ 2 МГц;
- Возможность одновременного управления 7-ю шаговыми двигателями с возможностью наращивания;
- Цифровые входы-выходы для подключения внешних устройств;
- Аналоговый вход для подключения внешних устройств.
ПК с двухядерным процессором, тактовой частотой 2.2 ГГц, оперативной памятью 2 Гб, видеокартой с внутренней памятью 256 Мб, жестким диском с емкостью 750 Гб, мультиформатным приводом ДВД, ЛСД монитором 19 дюймов.
- Функция автоматической настройки регистрирующей системы;
- Функция автоматического конфигурирования и предустановки стандартных измерительных методик;
- Функция автоматического поиска резонансной частоты кантилевера;
- Возможность работы с силовыми кривыми;
- Макроязык Lua для создания пользовательских функций, скриптов и элементов интерфейса;
- Возможность программировать средствами макроязыка DSP контроллера в режиме реального времени;
- Возможность обработки изображений в координатной области, включая построения сечений, фитирование, полиномиальное сглаживание вплоть до 8-го порядка;
- Возможность обработки изображений в частотной области, включая фильтрацию и анализ спектров;
- Функция быстрого преобразования Фурье (БПФ);
- Функция конволюции и деконволюции изображений;
- Поддержка режимов нанолитографии и наноманипуляций;
- Работа с изображениями размером до 5000×5000 пикселей.
Программное обеспечение (ПО) для СЗМ функционирует под управлением операционной системы Windows XP и имеет встроенную справочную систему.
- Прямой оптический доступ сверху и сбоку к зонду для ввода лазерного излучения;
- В состав системы входят 3 объектива с числовыми апертурами 0.28, 0.42 и 0.7 соответственно;
- Возможна одновременная установка объективов планапохроматов в двух вариантах: 1) сверху с числовой апертурой 0.7 и сбоку с числовой апертурой 0.28 и 2) сверху с числовой апертурой 0.28 и сбоку с числовой апертурой 0.42;
- Возможно совмещение фокусов верхнего и бокового объективов;
- В состав системы входит видеомикроскоп с 6-кратным зумом с грубой и точной фокусировкой и ПЗС камерой с S-видео выходом; микроскоп встроен в систему ввода-вывода и имеет оптическую ось, совмещенную с верхним каналом ввода лазерного излучения;
- В состав системы входит видеомонитор;
- В состав системы входит осветитель видеомикроскопа, построенный по схеме Кёллера;
- Оптическое разрешение видеомикроскопа составляет 1 мкм для верхнего объектива с числовой апертурой 0.28 и 0.4 мкм для верхнего объектива с числовой апертурой 0.7;
- Оптический канал видеомикроскопа совмещен с оптическим каналом ввода лазерного излучения сверху, включающим верхний объектив и турель со 100% зеркалом, светоделителем 30/70% и сквозным каналом.
- В состав системы входит оптический порт с диаметром пучка 4 мм для ввода-вывода лазерного излучения;
- В состав системы входит переключаемое зеркало для выбора верхнего или бокового канала ввода лазерного излучения;
- В состав системы входит блок позиционирования сканирующего зондового микроскопа (СЗМ), состоящего из измерительной головки, сканера и базы, по XYZ под системой ввода-вывода для совмещения зонда с фокусом верхнего и бокового объективов. Ручное позиционирование возможно в диапазоне 2×2x2 мм. Позиционирование с помощью пьезоэлементов возможно в диапазоне 10×10x10 мкм и контролируется емкостными датчиками.
- Управление системой позиционирования и СЗМ осуществляется от одного контроллера.
- Оптический диапазон детектирования: 473 – 1050 нм;
- Оптический диапазон входного излучения: 473 – 785 нм;
- Входной порт для 1-го или для 3-х лазеров;
- Поляризаторы (каналы возбуждения и регистрации): призма Глана-Тейлора, 390 – 1000 нм;
- Моторизованный позиционер полуволновой пластинки: трехпозиционный;
- Полуволновые пластинки 473, 532 и 785 нм;
- Моторизованный расширитель пучка лазера: коэффициент увеличения 1.78 – 7.19;
- Моторизованный позиционер светоделителей: трехпозиционный;
- Моторизованный позиционер интерференционных фильтров: шестипозиционный;
- Моторизованное фокусировочное устройство;
- Моторизованная регулируемая щель: изменяемая от 0 до 1.5 мм с шагом 0.5 мкм;
- Моторизованный ослабитель лазерного пучка: нейтральный фильтр с изменяемой плотностью;
- Оптическая схема: вертикальная
- Фокусное расстояние: 520 мм
- Порты: 1 входной, 2 выходных
- Фокальная плоскость: 28 х 10 мм
- Узел дифракционных решеток: турель на 4 решетки
- Спектральное разрешение: 0.025 нм (решетка 1200 штр/мм)
- Астигматизм: не более 8 мкм
- Спектральная щель: ширина 0 – 2.0 мм, единичный шаг 0.5 мкм
- Адаптер для ПЗС;
- Адаптер для ФЭУ.
- 150 линий/мм, длина волны блеска 500 нм;
- 600 линий/мм, длина волны блеска 600 нм;
- 1200 линий/мм, длина волны блеска 600 нм;
- 1800 линий/мм, длина волны блеска 500 нм.
- лазер с длиной волны 473 нм и мощностью 25 мВт;
- лазер с длиной волны 532 нм и мощностью 50 мВт;
- лазер с длиной волны 785 нм и мощностью 80 мВт;
- набор краевых фильтров на длины волн 473нм, 532нм, 785нм;
- набор узкополосных режекторных фильтров на длины волн 473нм, 532нм, 785нм;
- ПЗС Andor DV420A-BV option-C1-AR1;
- ФЭУ Hamamatsu H5784-04;