SmartSPM™ – сканирующий зондовый микроскоп

Вид спереди

C оптикой

Вид сверху

Измерительная головка

Преимущества

Автоматизация

Оптический доступ к образцу

Высокоскоростной сканер 100х100х15 мкм

Технология быстрого сканирования MagicScan

Технические характеристики

Преимущества

• Полностью автоматизированный СЗМ позволяет производить автоматическую настройку прибора перед началом измерений;

• Высокоскоростной 100 мкм сканер (резонансные частоты сканера больше, чем 7 кГц по XY & 15 кГц по Z), емкостные датчики, обеспечивающие высокую линейность и точное позиционирование;

• Регистрирующая система с ИК лазером с длиной волны 1300 нм позволяет измерять широкий диапазон образцов с высоким разрешением, включая образцы чувствительные к видимому свету. С таким лазером пользователь может проводить измерения флуоресценции или рамановского излучения одновременно с АСМ сканированием без перекрестных помех;

• Прямой и боковой оптический доступ;

• Улучшенный контроль обратной связи с активным устранением отставания по фазе по XY, перескоков и «звона» сканера при быстром сканировании без динамического искажения изображения;

• Режим True Non-contact и специальная процедура для безопасного подвода зонда к образцу;

• Цифровой модульный контроллер с быстрым DSP, USB интерфейсом и возможностью расширения функциональности.

Автоматизация

• Автоматическая настройка регистрирующей системы SmartSPM освобождает пользователя от рутинных операций, а также обеспечивает повторяемость настройки вне зависимости от его опыта;

• SmartSPM предоставляет возможность выбора оптимального места наведения регистрирующего лазера, а также возможность тестирования отражающей поверхности кантилевера перед началом измерений;

• Моторизация позиционирования образца в горизонтальной плоскости позволяет пользователю легко находить область, в которой необходимо производить сканирование;

• В автоматическом режиме пользователю необходимо лишь указать основные параметры зонда и поле сканирования для того, чтобы SmartSPM произвел полную настройку системы, подвел зонд к поверхности образца и начал сканирование;

• Минимальное время обучения, а также возможность быстрого старта измерений (меньше, чем за 5 минут!) делает SmartSPM идеальным решением для университетов, где прибор используется в многопользовательском режиме;

• Благодаря встроенному в программное обеспечение языку программирования Lua, пользователь имеет возможность адаптировать прибор под свои специфические задачи, а также организовать серию автоматизированных измерений в различных точках поверхности образца;

• Встроенный макроязык для программирования DSP позволяет создавать собственные алгоритмы сканирования, снятия силовых кривых, а также процедуры нанолитографии.

Оптический доступ к образцу

• SmartSPM позволяет использовать оптическую систему в вертикальном положении с объективом 100х, числовой апертурой 0.7 , а в положении под углом с объективом 20х, числовой апертурой 0.42;

• Наличие оптического доступа к образцу не только сверху, но и сбоку позволяет воздействовать на образец лазером с заданной поляризацией и собирать рассеянный свет с поверхности образца, что особенно важно для проведения ГКР/TERS экспериментов.

Высокоскоростной сканер 100х100х15 мкм

• Сверхвысокое разрешение, вплоть до атомарного, на 100 мкм сканере;

• Резонансные частоты сканера более 7 кГц обеспечивают высокую скорость сканирования, устойчивость к вибрациям и акустическим шумам;

• Современная система сканирования SmartSPM, основанная на гибких направляющих с применением высококачественных монолитных пьезопакетов, обладает метрологическими свойствами: нелинейность по XY < 0.03%, по Z < 0.1%;

• Термокомпенсация сканера обеспечивает получение низких тепловых дрейфов.