Стандартные кантилеверы

Технические характеристики кремниевых кантилеверов

Габаритные размеры чипа кантилевера:

• длина (без балок) х ширина 3,6 х 1,6 + 0,01 мм

• толщина 350 – 450 мкм

Габаритные размеры игл:

• угол при вершине < 22 градуса
  
• высота > 7 мкм
  
• диаметр основания < 8 мкм
• радиус скругления острия (d/2): категория “Super”
  fpN20S, fpN11S, fpN10S, fpN01S, fpC11S, fpC10S, fpC01S < 10 нм (прилагаются фотографии каждой из игл, выполненные на электронном микроскопе)
  

  категория “Standard”
  fpN20, fpN11, fpN10, fpN01, fpN03, fpC11, fpC10, fpC01 < 25 нм
  

  кантилеверы с покрытиями
  

  проводящие покрытия
  

  W₂C
  fpN20W2C, fpN11W2C, fpN10W2C, fpN01W2C, fpN03W2C, fpC11W2C, fpC10W2C, fpC01W2C < 60нм
  

  TiN
  fpN20TiN, fpN11TiN, fpN10TiN, fpN01TiN, fpN03TiN, fpC11TiN, fpC10TiN, fpC01TiN < 60нм

  Au
  fpN20Au, fpN11Au, fpN10Au, fpN01Au, fpN03Au, fpC11Au, fpC10Au, fpC01Au < 70нм

  Pt
  fpN20Pt, fpN11Pt, fpN10Pt, fpN01Pt, fpN03Pt, fpC11Pt, fpC10Pt, fpC01Pt < 60нм

  магнитное покрытие Co
  fpN01Co, fpN03Co < 90нм

Спецификация балок кантилеверов:

• fpN20 серия (бесконтактные кантилеверы с одной короткой треугольной балкой)

Тип	Длина балки, L±5 мкм	Ширина балки, W±5 мкм	Толщина балки, мкм			Резонансная частота, кГц			Силовая константа, Н/м
			мин.	тип.	макс.	мин.	тип.	макс.	мин.	тип.	макс.
B	90	60	1,7	2,0	2,3	260	420	630	28	48	91

• fpN11 серия (бесконтактные кантилеверы с двумя (короткой и длинной) балками)

Тип	Длина балки, L±5 мкм	Ширина балки, W±5 мкм	Толщина балки, мкм			Резонансная частота, кГц			Силовая константа, Н/м
			мин.	тип.	макс.	мин.	тип.	макс.	мин.	тип.	макс.
A	130	35	1,7	2,0	2,3	118	152	190	2,6	5,3	9,8
B	100	35	1,7	2,0	2,3	193	254	325	5,6	11,5	22,3

• fpN10 серия (бесконтактные кантилеверы с одной короткой балкой)

Тип	Длина балки, L±5 мкм	Ширина балки, W±5 мкм	Толщина балки, мкм			Резонансная частота, кГц			Силовая константа, Н/м
			мин.	тип.	макс.	мин.	тип.	макс.	мин.	тип.	макс.
B	100	35	1,7	2,0	2,3	193	254	325	5,6	11,5	22,3

• fpN01 серия (бесконтактные кантилеверы с одной длинной балкой)

Тип	Длина балки, L±5 мкм	Ширина балки, W±5 мкм	Толщина балки, мкм			Резонансная частота, кГц			Силовая константа, Н/м
			мин.	тип.	макс.	мин.	тип.	макс.	мин.	тип.	макс.
A	130	35	1,7	2,0	2,3	118	152	190	2,6	5,3	9,8

• fpN03 серия (бесконтактные кантилеверы с одной длинной тонкой балкой)

Тип	Длина балки, L±5 мкм	Ширина балки, W±5 мкм	Толщина балки, мкм			Резонансная частота, кГц			Силовая константа, Н/м
			мин.	тип.	макс.	мин.	тип.	макс.	мин.	тип.	макс.
A	130	35	0,9	1,2	1,5	70	90	115	0,5	1,1	2,2

• fpC11 серия (контактные кантилеверы с двумя (короткой и длинной) балками)

Тип	Длина балки, L±5 мкм	Ширина балки, W±5 мкм	Толщина балки, мкм			Резонансная частота, кГц			Силовая константа, Н/м
			мин.	тип.	макс.	мин.	тип.	макс.	мин.	тип.	макс.
A	350	35	0,7	1,0	1,3	7	10	14	0,01	0,03	0,08
B	250	35	0,7	1,0	1,3	14	20	27	0,03	0,1	0,2

• fpC10 серия (контактные кантилеверы с одной короткой балкой)

Тип	Длина балки, L±5 мкм	Ширина балки, W±5 мкм	Толщина балки, мкм			Резонансная частота, кГц			Силовая константа, Н/м
			мин.	тип.	макс.	мин.	тип.	макс.	мин.	тип.	макс.
B	250	35	0,7	1,0	1,3	14	20	27	0,03	0,1	0,2

• fpC01 серия (контактные кантилеверы с одной длинной балкой)

Тип	Длина балки, L±5 мкм	Ширина балки, W±5 мкм	Толщина балки, мкм			Резонансная частота, кГц			Силовая константа, Н/м
			мин.	тип.	макс.	мин.	тип.	макс.	мин.	тип.	макс.
A	350	35	0,7	1,0	1,3	7	10	14	0,01	0,03	0,08

Расстояние от конца консоли до середины основания иглы:

< 6 мкм

Угол отклонения конца балки относительно плоскости чипа:

< 2 градуса

Область контроля отражения от балки:

< 1/3 длины консоли

Производитель:

Федеральное государственное унитарное предприятие «Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина» (ФГУП «НИИФП им. Ф. В. Лукина»)

Прейскурант

Тип кантилевера				Цена (руб.)*
				15 шт	50 шт
Без покрытия	Бесконтактный	Одна балка	“Standard”	5 600	16 800
			“Super”	6 800	20 800
		Две балки	“Standard”	6 800	20 800
			“Super”	8 000	24 800
	Контактный	Одна балка	“Standard”	6 200	18 800
			“Super”	7 400	22 800
		Две балки	“Standard”	7 400	22 800
			“Super”	8 000	24 800
С покрытием	Бесконтактный и контактный, проводящие (W2C, TiN, Au, Pt)		Одна балка	7 400	22 800
			Две балки	9 050	27 200
	Бесконтактный магнитный (Co), одна балка			10 400	32 800

*Цены не включают страховку и расходы по доставке

Упаковка:
Пластиковый контейнер с гелевой подложкой.

Гарантия:
6 месяцев с даты поставки; для покрытий W2C, TiN, Co - 3 месяца с даты поставки.