АСМ сканирование тестовой решетки (шаг 3 мкм, высота 25 нм), полуконтактный метод, резонансная частота кантилевера – 500 кГц, площадь сканирования 30х30 мкм, 400×400 точек. Скорость сканирование увеличивалась с 2 до 20 линий в секунду!

АСМ сканирование тестовой решетки (шаг 3 мкм, высота 25 нм), полуконтактный метод, резонансная частота кантилевера – 500 кГц, площадь сканирования 12х12 мкм, 300×300 точек. Скорость сканирование увеличивалась с 3 до 30 линий в секунду!